小橘子qq飞车手游图片: ULVAC_間歇式濺射器_ENTRON N300

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產品名稱: ULVAC_間歇式濺射器_ENTRON N300
產品型號: ENTRON N300
產品展商: ULVAC
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ULVAC_間歇式濺射器_ENTRON N300  的詳細介紹

qq飞车手游活动日期表 www.ycmwk.icu ULVAC_間歇式濺射器_ENTRON N300

ULVAC_間歇式濺射器_ENTRON N300

ULVAC_間歇式濺射器_ENTRON N300

ULVAC_間歇式濺射器_ENTRON N300

ULVAC_間歇式濺射器_ENTRON N300

多商會型裝置ENTRONTM N 300,適當的投資效率實現正合適的裝置。PVD、CVD,不僅NVM用蝕刻也裝載可能。ENTRON系列,*上位機種EX 2和在場的陣容擴張,根據客戶的多樣化需求準確,滿足了。

在*小的??楣鉤煽贍芑?br /> PVD與CVD,ALD及NVM用腐蝕等*新技術也可搭載
Cu電路和障壁金屬,UBM TSV CMOS圖像傳感器,,,NVM用腐蝕等豐富多彩的應用對應
以單一核心集群思想為六室的過程??櫬鈐乜贍?br /> 對環境的關懷
各種節能功能標準搭載,以前比以前增加40%的節能。
次世代半導體Fab適合的控制系統
薄膜控制性出色,EES對應也可能。*尖端Fab自動化適合

*先進的半導體內存(DRAM,Flash內存)
*先進半導體邏輯
下一代不揮發性內存(膜、蝕刻)
UBM,TSV,動力設備
CMOS圖像傳感器

  ENTRON N300

裝置構成

搬送室

大気ウエハ移載機+8角形真空搬送室

モジュール

L/UL室2+*大5プロセス室+1デガスor冷卻室

基板寸法

Φ300㎜ or Φ200㎜

搬送ロボット

デュアルアーム高真空搬送ロボット<ELEC-RZ>

制御系

FA-PC制御(Cluser Tool controller)

排気系

主排気

LL室:専用ドライポンプ
搬送室:クライオポンプ or TMP+トラップ or ドライポンプ
プロセス室:クライオポンプ or TMP(+トラップ)

粗引き

粗引き用ドライポンプ、TMPフォア用ドライポンプ

対応プロセス

スパッタ

スパッタダウン方式/回転磁石カソード:コンベンショナル、LTS、SIS、HiCIS、マルチカソード

プリクリーン

ICPプリエッチング、水素アニール、CDT

CVD/ALD

FEOL、BEOL、NVM用CVD、CDT

NVM用エッチング

NVM用高溫、常溫エッチング、ポストトリートメント

搭載可能プロセスガス系統

PVD:*大4系統、CVD:*大14系統、Etcher:*大11系統

スループット

メカニカルスループット:80wph(2回搬送)

到達圧力

Load lock

10Pa以下

Transfer

PVD:1.0×10E-4Pa以下/ETCHER:10Pa以下

Module

PVD:3.0×10E-6Pa以下/ETCHER:6.7E-4Pa以下

膜厚/エッチング分布*1

Φ300㎜基板內 ±5%以內

プロセス溫度

R.T~450℃

電気

50Hz/60Hz、3Φ、200V

冷卻水

0.3~0.5MPa、溫度20~25℃、
チラー用:120L/min
He Compressor用:15L/min
DRP用:3L/min×n臺分

所要ガス

プロセス用Gas各種:0.1~0.3MPa
ベント用 N2:0.2~0.7MPa
ドライポンプ用 N2:0.2~0.7MPa

圧空

0.5~0.7MPa

省エネルギー機能

標準搭載

接地工事

A種

オプション

LTS/SIS/マルチカソード/CVD/ALD/NVM:エッチャーモジュール選択搭載可能
RGA:Qulee
EES:EDPMS(Equipment Engineering Systtem)

 

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